Эксимерные лазеры (лазеры, в которых используются галоиды; эксиплексные лазеры) имеют накачку всё тем же электрическим разрядом. Но в данном типе лазеров энергия накачки используется для формирования нестабильных молекул, которые могут испускать фотоны, которые не участвуют в диссоциации. Большинство эксимерных лазеров являются ультрафиолетовыми лазерами, которые работают под воздействием импульсов тока, что приводит к излучению интенсивностей наносекундных импульсов. Они используются для различных видов обработки материалов, в том числе импульсного лазерного напыления, лазерной маркировки и изготовления волоконной Брэгговской решетки. Существуют также медицинские применения, например, в офтальмологии.
