Для чрезвычайно высокой модуляции полосы пропускания, то есть в гигагерцевой области, часто используются интегральные модуляторы бегущей волны. В ней электрический управляющий сигнал порождает электромагнитную волну (микроволну), распространяющуюся по электродам в направлении оптического луча. В идеале, фазовая скорость обоих волн согласована для того, чтобы результативная модуляция была возможной, даже для частот, которые так высоки, что длина электродов соответствует с нескольким длинам волн излучения.